MKS Japan, Inc.

MKS Instruments, Inc. は、1961年に設立され、世界を変革するテクノロジーを実現しています。 当社は、最先端の半導体製造、エレクトロニクスおよびパッケージング、 特殊産業用途に対する基盤技術ソリューションを提供しています。 当社の製品は、圧力測定と制御、流量測定と制御、ガスおよび蒸気供給、ガス成分分析、 電子制御技術、反応性ガスの生成と供給における当社のコアコンピテンシーに基づいています。

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修理・校正依頼

• 修理および校正などのご依頼は、依頼票に必要事項を記入
• Emailにて送付   MKSJ-Service-CSR@mksinst.com
• RMA番号をサービス依頼票に記入し、現品と一緒に東京サービスセンター宛に発送

サービスフロー

Service Flow

修理メニュー・修理保証

• 2019年３月に従来の個別修理価格から固定修理価格へ価格体系を改訂しました。
• また、従来実施しておりました事前見積りは、固定修理価格に伴い廃止しております。
• 尚、原則的に毎年サービス価格を改定しておりますので、改定時期につきましては弊社営業までお問い合わせください。
• 形式により選択可能なサービス内容が変わりますので、下記をご参考にご確認のうえ、ご不明な場合はお気軽に弊社営業までお問い合わせください 修理メニュー/修理保証の詳細はこちらからご確認ください

修理メニュー/修理保証の詳細はこちらからご確認ください

• 圧⼒計 & スロットルバルブ & アイソレーションバルブ & GP製品(ゲージ) Excelファイル | PDFファイル
• マスフローコントローラ(メーター) & フローコントロールバルブ Excelファイル | PDFファイル
• エレクトロニクス製品 & コントロールユニット & GP製品(ゲージ以外) Excelファイル | PDFファイル
• Power Solutions Excelファイル | PDFファイル
• Spectra製品他 Excelファイル | PDFファイル
• Plasma & Reactive Gas Excelファイル | PDFファイル

本社

日本エム・ケー・エス株式会社　本社

• 〒102-0073
  東京都千代田区九段北4-1-28 九段ファーストプレイス
• アクセス
  都営新宿線　都営市ケ谷駅　徒歩4分
  東京メトロ　有楽町線・南北線　市ケ谷駅　徒歩6分
  JR総武線　市ケ谷駅　徒歩7分
  東京メトロ　半蔵門線　九段下駅　徒歩7分

東京サービスセンター

日本エム・ケー・エス株式会社　東京サービスセンター

• 〒196-0003
  東京都昭島市松原町2-12-11
• アクセス
  JR青梅線/五日市線/八高線　拝島駅　徒歩12分

MKS Instrumentsは、世界を変革するテクノロジーを実現します。当社は最先端の半導体製造、
パッケージング、電子、その他産業へ本質的な技術ソリューションを提供いたします。

幅広い科学と工学の能力を応用して、プロセス性能を改善し、生産性を最適化し、世界をリードする
多くのテクノロジーおよび工学会社の独自のイノベーションを可能にする計測器、サブシステム、
システム、プロセス制御ソリューション、および特殊化学技術を生み出しています。
それをさらに高めていくために、当社はあなたの能力を必要としています。
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