MKS Japan, Inc.

日本エム・ケー・エス株式会社 MKS Japan, Inc.

MKS Inc. は、1961年に設立され、世界を変革するテクノロジーを実現しています。 当社は、最先端の半導体製造、エレクトロニクスおよびパッケージング、 特殊産業用途に対する基盤技術ソリューションを提供しています。 当社の製品は、圧力測定と制御、流量測定と制御、ガスおよび蒸気供給、ガス成分分析、 電子制御技術、反応性ガスの生成と供給における当社のコアコンピテンシーに基づいています。

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製品案内

Mass Flow Controllers & Meters

マスフローコントローラー
メーター

Baratron® Capacitance Manometers

キャパシタンスマノメーター

 
Granville-Philips® Vacuum Gauges

真空計

 
 
Gas Analyzers

ガス分析計

 
Vacuum Flanges & Fittings

真空フランジ
継手

RF & Microwave Generators

RFマイクロ波ジェネレーター

RF & Microwave Generators

圧力コントローラー
バルブ

Plasma & Reactive Gas

プラズマ
反応性ガスソリューション

 
Automation, Control & Sensing

自動化、制御、センシング

 
 
Heater Jackets & Process Traps

ヒータージャケット

 
 
 
 
 

製品案内、資料

Surround the Wafer®

MKSのSurround the Wafer®の製品は、半導体業界のお客様に、幅広い製品、設計 および開発サービス、システムレベルの統合、トレーニングプログラム、校正、サービス、修理を提供します。

この製品とサービスの独自の組み合わせにより、お客様は品質と生産性のレベルを維持しながら、超薄膜で、新素材でできた複雑な3D構造を生産するという課題を解決することができます。

MKS InstrumentsのSurround the Wafer®

サービス

修理・校正依頼

  • 修理および校正などのご依頼は、依頼票に必要事項を記入
  • Emailにて送付   MKSJ-Service-CSR@mksinst.com
  • RMA番号をサービス依頼票に記入し、現品と一緒に東京サービスセンター宛に発送

サービスフロー

サービスフロー

Service Flow

サービスフロー

修理メニュー・修理保証

  • 2019年３月に従来の個別修理価格から固定修理価格へ価格体系を改訂しました。
  • また、従来実施しておりました事前見積りは、固定修理価格に伴い廃止しております。
  • 尚、原則的に毎年サービス価格を改定しておりますので、改定時期につきましては弊社営業までお問い合わせください。
  • 形式により選択可能なサービス内容が変わりますので、下記をご参考にご確認のうえ、ご不明な場合はお気軽に弊社営業までお問い合わせください 修理メニュー/修理保証の詳細はこちらからご確認ください

修理メニュー/修理保証の詳細はこちらからご確認ください

サービス依頼票

該非判定書

  • 日本では、国際的な平和および安全維持の観点から外国為替および外国貿易管理法により、
    武器、大量破壊兵器の製造に寄与する関連資機材、通常兵器関連汎用品ならびに
    これらの関連技術の輸出 (提供) について規制が行われています。
  • 日本政府が定める外国ユーザーリスト対象者への輸出・販売・譲渡は原則、禁止されています。
  • 当社ではお客様のご依頼に基いて、該非判定書を発行いたしております。
  • 以下のフォームに必要事項をご記入の上、メール添付にてご依頼ください。

該非判定書依頼フォーム
依頼先メール： mks-japan@mksinst.com

お知らせ

  • ・MKS Instruments Inc.,社名を「MKS Inc.」に変更したことを発表 (2025年5月15日)
  • ・新品、修理品の保証期間に関わらず、ご指摘の不具合が再現しなかった場合は、
  • PNR (Problem Not Replicated) 費用を請求させていただく事になりました。 (2022年6月5日)
  • ・サービス価格は、基本的に毎年1月に改訂されますので、
  • ご留意くださいますようお願い申し上げます。 (2022年1月7日)
  • ・2021年1月1日より、技術サポートお問い合わせはEmailでの受付とさせていただきます。 (2020年11月2日)

生産中止/廃止のお知らせ

会社概要

会社概要 日本エム・ケー・エス株式会社
設立年月日 1982年12月16日
決算期 12月
本社 〒102-0073 東京都千代田区九段北4-1-28 九段ファーストプレイス6階
人事部、財務経理部、IT、営業部
東京サービスセンター 〒196-0003 東京都昭島市松原町2-12-11
サービス部、品質管理部、業務部 (購買)
主要取引銀行 JPモルガン・チェース銀行/東京支店、みずほ銀行/新宿支店

会社地図

本社

日本エム・ケー・エス株式会社　本社

  • 〒102-0073
    東京都千代田区九段北4-1-28 九段ファーストプレイス
  • アクセス
    都営新宿線　都営市ケ谷駅　徒歩4分
    東京メトロ　有楽町線・南北線　市ケ谷駅　徒歩6分
    JR総武線　市ケ谷駅　徒歩7分
    東京メトロ　半蔵門線　九段下駅　徒歩7分

東京サービスセンター

日本エム・ケー・エス株式会社　東京サービスセンター

  • 〒196-0003
    東京都昭島市松原町2-12-11
  • アクセス
    JR青梅線/五日市線/八高線　拝島駅　徒歩12分

お問い合わせ

御見積、カタログ
取扱説明書 		〒102-0073 東京都千代田区九段北4-1-28 九段ファーストプレイス6階
TEL: 03-3556-3293
FAX: 03-3556-3294
Email: mks-japan@mksinst.com
修理、校正
機種変更等 		〒196-0003 東京都昭島市松原町2-12-11
TEL: 042-500-8825
FAX: 042-500-8829
Email: MKSJ-Service-CSR@mksinst.com
技術サポート Email: mks-japan@mksinst.com

採用情報

MKSは、世界を変革するテクノロジーを実現します。当社は最先端の半導体製造、
パッケージング、電子、その他産業へ本質的な技術ソリューションを提供いたします。

幅広い科学と工学の能力を応用して、プロセス性能を改善し、生産性を最適化し、世界をリードする
多くのテクノロジーおよび工学会社の独自のイノベーションを可能にする計測器、サブシステム、
システム、プロセス制御ソリューション、および特殊化学技術を生み出しています。
それをさらに高めていくために、当社はあなたの能力を必要としています。
採用情報